当我们拿到TEM的结果的文件格式.tiff格式是图片格式，一般电脑直接双击就可以打开方便预览，而.dm3格式是测试的源文件富含的有效信息最多，需要特定软件，常用Digital Mcrograph打开并分析。

首先要明确TEM可以用来做什么，通常有两个目的：一是看形貌，观察高倍放大的固体材料内部缺陷等；二是结合电子衍射（SAED）更进一步对样品的晶体结构、晶相组成进行分析。

关于看形貌只需选择美观、清晰能够表现出材料形貌特征的图即可，一般其比例尺在20-200nm。

对晶体结构及暴露晶面的分析可分为通过HRTEM（比例尺≤5nm）进行晶格间距的分析和通过SAED对晶体结构和晶相的判断，具体步骤如下：

一、对HRTEM分析

1.标卡的标定

打开Digital Mcrograph（D.M.)

通过右上角工具栏放大镜功能，选中后单击鼠标可放大图片（按住ALT单击鼠标缩小）。

放大标卡位置，放大前与放大后：

点击ROI tools中第二个画线工具，在标卡上画一条等长的线段（注意始末位置不要将标卡本身的线宽量进去；按住shift画线不易倾斜）。

选中刚刚画的线，点击Analysis - Calibrate，在弹出的对话框中，选择对应的单位输入标卡长度5nm - 点击ok。

以上，即可完成标尺长度的标定。

2.量取晶格宽度

通过HRTEM图可量取晶体的晶格宽度，选中Standard Tools中第一行第5个工具，量取10个晶格的宽度再除以10（画线要垂直于晶格，线段始末要同色条纹的相同位置，最好是放大后再量取）。

选中所画线段从左下角Control显示栏里可以读出线段长度，即10个晶格宽度，除以10，得出晶格宽度0.2605nm。

3.对应晶面

从jade中找到所用物质的XRD,标卡，例如所用标卡为PDF#36-1451，点击红框中的-复制数据，粘贴到EXCEL中。

对应d列就是晶格间距，但其单位是Å（读音“ai”）1nm=10Å，故例中0.26nm的晶格间距可与该标卡的（002）晶面对应。

最后可以将.dm3格式导出，File - save as - jpg格式并在ppt或其他绘图工具中标出晶格和晶面。

二、对SAED分析

对SAED图进行分析可将材料分为典型的单晶、多晶和非晶形态：

首先需完成上述标卡的标定过程，（先不管SAED图标尺单位为nm⁻¹中的负一次方，后续再做取倒数处理）。

对于多晶材料采用同样步骤得到其他衍射环所对应的晶面，得到完整的SAED分析图；单晶材料的处理过程一样，但由于单晶材料的平移对称性，测量过程中的测量中心点可以任意选择，但一旦选择后，所有晶面都要相对于该中心点操作。（需要注意单晶材料中衍射点对应的衍射晶面需满足矢量叠加原则）。

最后将图片导入ppt、ps等绘图软件，将晶面等信息标注在图上，到此即完成了SAED图的处理过程。

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来源：表征与模拟、材料基

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